Jako lešticí kotouče z keramických destiček z oxidu hlinitého a safírové lapovací kotouče používané v polovodičovém, diamantovém leštění atd.
Proces: Všechny typy leštění a lapování, jako je chemicko-mechanické leštění CMP, mechanické leštění, přesné leštění.
Vysoká čistota a chemická odolnost
Vysoká mechanická pevnost a tvrdost
Vysoká odolnost proti korozi
Odpor k vysokému napětí
Odolný vůči vysokým teplotám až do 1700 °C
Extrémně odolný proti oděru
Vynikající izolační výkon
Všechny typy velikostí 180, 360, 450, 600 mm atd.
| Název produktu | Lešticí lapovací kotouče z vysoce čistého oxidu hlinitého s čistotou 99,7 % |
| Materiál | 99,7% oxidu hlinitého |
| Normální velikost | D180, 360, 450, 600 mm, přijímáme i zakázkové rozměry. |
| Barva | Slonová kost |
| Aplikace | Proces CMP na waferech a safírových deskách v polovodičovém průmyslu |
| Minimální objednávka | 1Obrázek |
| Jednotka | 99,7 Keramika z oxidu hlinitého | ||
| Obecné vlastnosti | Obsah Al₂O₃ | hmotnostní % | 99,7–99,9 |
| Hustota | g/cm³ | 3,94–3,97 | |
| Barva | - | Slonová kost | |
| Absorpce vody | % | 0 | |
| Mechanické vlastnosti | Pevnost v ohybu (MOR) 20 °C | MPa (psix¹⁸³) | 440–550 |
| Modul pružnosti při 20 °C | GPa (psix10^6) | 375 | |
| Tvrdost podle Vickerse | Gpa (kg/mm2) R45N | >=17 | |
| Pevnost v ohybu | Průměrné hodnocení (GPA) | 390 | |
| Pevnost v tahu 25 °C | MPa (psix¹⁸³) | 248 | |
| Lomová houževnatost (KI c) | MPa* m^1/2 | 4–5 | |
| Tepelné vlastnosti | Tepelná vodivost (20 °C) | W/mk | 30 |
| Součinitel tepelné roztažnosti (25-1000ºC) | 1x 10^-6/ºC | 7.6 | |
| Odolnost proti tepelným šokům | °C | 200 | |
| Maximální provozní teplota | °C | 1700 | |
| Elektrické vlastnosti | Dielektrická pevnost (1 MHz) | ac-kv/mm(ac v/mil) | 8,7 |
| Dielektrická konstanta (1 MHz) | 25 °C | 9,7 | |
| Objemový měrný odpor | ohm-cm (25 °C) | >10^14 | |
| ohm-cm (500 °C) | 2×10^12 | ||
| ohm-cm (1000 °C) | 2×10^7 |
Přijímáme zakázkové objednávky.
Pokud chcete dozvědět se více informací o produktu, neváhejte nás kontaktovat a my vám poskytneme nejvhodnější produkt a nejlepší služby!