Chemshunleštící deska z oxidu hlinitéhoOtočný stůl je vyroben z vysoce čistého oxidu hlinitého s obsahem 99,7–99,9 %. Vysoce čistý oxid hlinitý se vyznačuje vynikající tuhostí a vynikající odolností proti opotřebení při leštění destiček a zachovává si dobrý tvar povrchu po dlouhou dobu. Je tvarován metodou PIBM. Je součástí polovodičového průmyslu díky své bezkonkurenční tepelné a rozměrové stabilitě a odolnosti vůči náročným podmínkám zařízení na zpracování mikročipů.
Chemicko-mechanická planarizace (CMP), známá také jako chemicko-mechanické leštění, je technologie ve výrobním procesu polovodičových součástek. Využívá chemickou korozi a mechanické síly k zploštění křemíkových destiček nebo jiných substrátových materiálů během zpracování.
Zařízení CMP se dělí hlavně na dvě části: lešticí část a čisticí část. Lešticí část se skládá ze 4 částí, a to 3 lešticích otočných stolů a modulu pro vkládání a vykládání destiček. Čisticí část je zodpovědná za čištění a sušení destičky, aby se dosáhlo jejího „vkládání a vyjímání“. V celém lešticím zařízení hraje důležitou roli aluminová keramika.
Keramika z oxidu hlinitého se obvykle používá k výrobě leštících kotoučů na wafery, které vyžadují vysokou čistotu, vysokou chemickou odolnost a dobrou kontrolu tvaru a drsnosti povrchu.
Keramický brusný kotouč Chemshun 99,7% Al2O3 je vyroben z pokročilých keramických materiálů, které jsou vhodné pro jemné broušení různých materiálů, zejména pro broušení křehkých materiálů, jako jsou destičky, keramika a sklo. Náš keramický brusný kotouč lze vyrobit v různých velikostech podle různých modelů broušení a leštění.
Čas zveřejnění: 30. května 2025