S rychlým rozvojem polovodičového průmyslu se jeho rozsah prudce zvýšil a zařízení pro výrobu polovodičů se neustále vyvíjelo směrem k přesnosti a složitosti. Keramika má výhody vysoké tvrdosti, vysokého modulu pružnosti, vysoké odolnosti proti opotřebení, vysoké izolační schopnosti, odolnosti proti korozi, nízké roztažnosti atd., a proto může být použita jako součást lešticích strojů na křemík, epitaxních/oxidačních/difuzních zařízení pro tepelné zpracování, litografických strojů, depozičních zařízení, leptacích zařízení polovodičů, iontových implantačních strojů a dalších zařízení. Výzkum, vývoj a výroba přesných keramických dílů tedy přímo ovlivňují rozvoj polovodičového průmyslu. Technické požadavky na jejich výrobu se neustále zvyšují.
Vysoce čistý oxid hlinitý, 99,7 % - 99,9 % oxidu hlinitého.
Vysoká mechanická pevnost, vysoká odolnost proti opotřebení, vysoká elektrická izolace, vysoká chemická stabilita, dobrá tepelná odolnost a odolnost proti korozi. V současné době je použití keramických brusných kotoučů pro broušení polovodičových křemíkových destiček nejmodernější metodou broušení. K broušení nařezaných křemíkových destiček se používá oboustranný brousicí proces, který zlepšuje kvalitu brusných destiček zlepšením procesu broušení (materiál kotouče, brusná kapalina, brusný tlak a rychlost broušení atd.). Zejména použití keramických destiček místo litinových destiček zabraňuje broušení hlavního povrchu destičky způsobenému jizvami nebo znečištěním, snižuje zavádění kovových iontů, zkracuje následné zpracování křemíku, zkracuje dobu následného procesu (koroze), zlepšuje efektivitu výroby a snižuje ztráty při zpracování křemíku, což výrazně zlepšuje využití křemíku.
Leštící deska s vysokým obsahem oxidu hlinitéhoPoužívá se v polovodičovém, ropném, chemickém, fotovoltaickém, tekutokrystalovém a dalších průmyslových odvětvích, jako jsou mechanické součástky, elektronické součástky, mikrovlnné indukční disky, izolační materiály a další součástky, polovodičová zařízení, vakuová zařízení, zařízení na výrobu tekutých krystalů a další součástky. Velkorozměrná a vysoce čistá aluminová keramika má důležitou aplikační hodnotu v safírovém průmyslu a průmyslu polovodičových čipů. Je klíčovým nosičem a spotřebním materiálem pro chemicko-mechanické leštění (CMP) safírových a polovodičových křemíkových destiček. Velkorozměrná a vysoce čistá aluminová keramika může být také použita jako aluminový substrát pro LCD.
Čas zveřejnění: 27. června 2024